真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
型式について・・・型式末尾には必要なストロークを記入してください。
（例）ILD-34Mの30mmストローク ： ILD-34M300
| 型式 | ILD-34M | ILD-70M | ILD-114M | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 30 | 50 | 30 | 50 | 100 | 50 | 100 | 150 | 200 | |
| ストローク(mm) | 30 | 50 | 30 | 50 | 100 | 50 | 100 | 150 | 200 | |
| 接続フランジ | CF34 | CF70 | CF114 | |||||||
| 駆動方法 | 手動 | |||||||||
| リーク量 | 1×10-9Pa・m3／s以下 | |||||||||
| ベーキング温度 | 250℃ | |||||||||
| 使用主材料 | SUS304 | |||||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | |||||||||
| 主要寸法 | A | 50~80 | 50~100 | 50~80 | 50~100 | 50~150 | 50~100 | 50~150 | 50~200 | 50~250 |
| B | 149 | 179 | 149 | 179 | 228 | 175 | 255 | 325 | 400 | |
| C | 7 | 7 | 11 | |||||||
| D | 16 | 20 | 35 | |||||||
| φ E(h7) | 6 | 8 | 14 | |||||||
| F | 5.0 | 7.0 | 12.5 | |||||||
| φG | 8 | 12 | 16 | |||||||
| φH | 42 | 42 | 70 | |||||||
| φI | 38.0 | 38.0 | 48.6 | |||||||
| φJ | 51 | 51 | 61 | |||||||
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<ご注文に際して>
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