真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
| 型式 | ILC-34-10 | ILC-34-15 | ILC-34-20 | |
|---|---|---|---|---|
| ストローク | 10mm | 15mm | 20mm | |
| 接続フランジ | CF34 | |||
| 駆動方法 | 手動 | |||
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | |||
| ベーキング温度 | 250℃ | |||
| 使用主材料 | SUS304 | |||
| ベローズ材質 | SUS316L | |||
| 主要寸法 | A | 50~60 | 50~65 | 50~70 |
| B | 106~96 | 127~112 | 152~132 | |
| C | 156 | 177 | 202 | |
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