出展
- ■ シール方向切り替えゲートバルブ(特許第6607428号)(現品展示)
2020年度(一社)日本真空工業会表彰『真空コンポーネント・部品・材料部門賞』を受賞致しました。
片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。
- ■ 非蒸発型ゲッターNEG ICF152成形ベローズ及びICF203ブランクフランジ(現品展示)
「真空排気の効果をもつ成形ベローズ」を製品化するために、高エネルギー加速器研究機構の間瀬一彦准教授と共同研究を行っています。ICF152成形ベローズとICF203ブランクフランジに非蒸発ゲッター性能を持たせました。150℃、12時間のベーキングで水素(H2)や一酸化炭素(CO)を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。IVC22においても大変注目を集めました。現在、製品化に向け開発を進めております。
- ■ 昇降用溶接ベローズ(現品展示)
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。
- 展示会開催日程: 2022年10月 19(水)~21日(金) 10:00~17:00
会 場:東京ビッグサイト 西2ホール(1F) 当社ブースNO.V-37
主 催:(一社)日本真空工業会、(公社)日本表面真空学会、日刊工業新聞社
同 催:「洗浄総合展 Japan Robot 先端材料技術展スマートファクトリー 高精度・難加工技術展 表面改質展」
詳しくは https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/index.htmlをご確認ください。