多数の皆様にご来場いただき誠にありがとうございました。
- シール方向切り替えゲートバルブ(特許取得済み)
片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。(現品展示)
- 無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
150℃、1.5~12時間のベーキングで水素(H2)や一酸化炭素(CO)を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。非蒸発型ゲッターポンプは、加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして最適です。
また、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。(参考出品)
- 昇降用溶接ベローズ
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)
会 期: 2019年12/11(水)~13(金) 10:00~17:00
会 場: 東京ビッグサイト 西展示棟
当社ブース: 西4ホール 小間番号:5138
主 催: SEMI
詳しくはhttps://www.semiconjapan.org/jp/をご確認ください。