多数の皆様にご来場いただき誠にありがとうございました。
- シール方向切り替えゲートバルブ(特許出願中 出願番号『PCT/JP2019/18240』)
片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。(現品展示)
- 真空用ゲートバルブ(低パーティクルに対応)
コスラーズⅡシリーズの新機種として、微細化に対応した製品を展示致します。 200万回寿命、低振動、低パーティクル仕様に対応しています。(現品展示)
- 無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
150℃、1.5~12時間のベーキングで水素(H2)や一酸化炭素(CO)を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。非蒸発型ゲッターポンプは、加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして最適です。
また、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。(参考出品)
- 昇降用溶接ベローズ
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)
会 期: 2019年9月4日(水)~6日(金) 10:00~17:00
会 場: パシフィコ横浜
当社ブース: NO.V-28
主 催: (一社)日本真空工業会、(公社)日本表面真空学会、日刊工業新聞社
同時開催: 「2019洗浄総合展」「高精度・難加工技術展2019」「表面改質展2019」「先端材料技術展2019」
詳しくはhttps://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuumをご確認ください。