真空ベローズの入江工研株式会社ベローズ、真空バルブ、真空配管
真空展VACUUM 2011に出展致しました。
多数の皆様にご来場頂き誠にありがとうございました。
- OLED製造装置用に開発した高真空ゲート弁（KV-ⅡR)は、駆動部品数を削減しメンテ性向上と価格低減を実現します。
- 取付け誤差吸収用に大型矩形ベローズを開発致しました。自動化よる価格低減を図っています。
- フレキシブル基板に対応した高真空ゲート弁「FFTシリーズ」は、低粘着で１０-5Paを達成しています。
会 期： ２０１１年８月３１日(水)～９月２日(金) 10:00～17:00
会 場： 東京ビックサイト 弊社ブースNO．２７（西１ホール））
（展示一例）
