入江工研株式会社

ゲートバルブを交換するだけでパーティクル50％以上削減を達成

このままではいつまで経っても結果を出せないと悩んだU氏は、低パーティクル化の情報を求め、複数の部品メーカーに問い合わせました。しかし、届くのはすでに試して効果がなかった方法や、膨大なコストが発生する上、本当に効果があるのか不明な改善策ばかりでした。そんな中、入江工研からすでに実績がある方法として、ゲートバルブの交換を提案されたのです。
「入江工研の担当者は、ゲートバルブを交換するだけでパーティクルを50％以上削減できたと、事例・試験結果のデータを交えて説明してくれました。実績があり信頼できたことから、すぐに試すことになりました」（U氏）

低パーティクル化が、さらなる品質向上を果たした新モデル開発のきっかけに

従来の測定方法では、ゲートバルブのケーシング内のパーティクルを測定します。しかし、より実用的なパーティクルの発生状況を把握するため、今回はウェハー上で測定することにしました。そして、実機評価を行ったところφ300ウェハー上で発生するパーティクル数を従来機の50％以上削減できたのです。
「入江工研のゲートバルブを採用することで、顧客の低パーティクル化の要望に応えることができました。半導体製造装置の品質向上につながり、顧客にも喜んでもらえました」（U氏）
R社では、引き続き入江工研に相談しながら、今回低パーティクル化を実現した半導体製造装置をもとに、さらなる品質向上を果たした新モデルの開発を進めています。