| 型式 | IRP70 |
|---|---|
| 接続フランジ | CF70 |
| 駆動方法 | 手動 |
| 回転位置決め精度 | 0.5° |
| 回転寿命 | 100,000回 |
| リークレート | 1×10-10Pa・m3/s以下 |
| ベーキング温度 | 200℃以下 |
| 使用主材料 | SUS304 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
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| dxf |
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