真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
| 型式 | MFR34 | MFR70 | |
|---|---|---|---|
| 接続フランジ | CF34 | CF70 | |
| 駆動方法 | 手動（モーター駆動可） | ||
| 回転範囲 | 360° | ||
| 使用圧力範囲 | ～10-8Pa | ||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||
| ベーキング温度 | 250℃(磁石付) | ||
| 使用主材料 | 本体:SUS304・ハンドル:アルミニウム | ||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||
| 主要寸法 | A | 100 | 165 |
| B | 34.7 | 55.0 | |
| C | 65.3 | 110.0 | |
| D | 38 | 73 | |
| E | 40 | 73 | |
| F | 6 | 10 | |
| G | 5 | 9 | |
| H | 12 | 12.5 | |
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