磁気結合式直進回転導入機Magnetic linear and rotary motional vacuum manipulator

磁気結合式直進回転導入機外観図

仕様

磁気結合式直進回転導入機は直進方向のストロークを3種類から選択頂けます。

(型式例) ストローク500mm・CF70の場合 -> MFL70-500

型式 MFL70 MFL114
接続フランジ CF70 CF114
駆動方法 手動
回転範囲 360°
直進ストローク 500,800,1000mm
使用圧力範囲 ~10-8Pa
リークレート 1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度 250℃(磁石付)
使用主材料 本体:SUS304・ハンドル:アルミニウム
ベローズ材質 SUS316L
主要寸法 A 58.2 62.5
製品図面
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<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましてはカタログでもご紹介させていただいております。
製品に関しての納期、価格、その他ご質問のお問い合わせはこちらまでお願い致します。
上記規格品以外にも、お客様のご要求により個別設計・製作も対応致します。お気軽にご相談下さい。

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フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
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