真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
型式について・・・型式末尾には必要なストロークを記入してください。
（例）ILD15Mの30mmストローク ： ILD15M-03
| 型式 | ILD15M | ILD40M | ILD65M | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | -03 | -05 | -03 | -05 | -10 | -05 | -10 | -15 | -20 | |
| ストローク(mm) | 30 | 50 | 30 | 50 | 100 | 50 | 100 | 150 | 200 | |
| 接続フランジ | CF34 | CF70 | CF114 | |||||||
| 駆動方法 | 手動 | |||||||||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | |||||||||
| ベーキング温度 | 250℃ | |||||||||
| 使用主材料 | SUS304 | |||||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | |||||||||
| 主要寸法 | A | 50 | 50 | 60 | ||||||
| B | 38 | 38 | 48.6 | |||||||
| C | 6 | 8 | 14 | |||||||
| D | 34 | 70 | 114 | |||||||
| E | 8 | 12 | 16 | |||||||
| F | 5 | 7 | 12.5 | |||||||
| G | 16 | 20 | 35 | |||||||
| H | 7 | 7 | 11 | |||||||
| I | 18 | 25 (-10は無し) | - | |||||||
| J | 25 | 20.3 (-10は無し) | - | |||||||
| L | 150 | 180 | 150 | 180 | 225 | 175 | 255 | 325 | 400 | |
| 製品図面 ダウンロード |
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<ご注文に際して>
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