真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
下記は基本仕様となります。ご注文時個別設計での対応となります。
型式について・・・型式末尾には必要なストロークを記入してください。
（例）ILD-40Aの50mmストローク ： ILD-40A05
| 型式 | ILD-70A | ILD-114A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| ストローク(mm) | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| 接続フランジ | CF70 | CF114 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | ＊ | 50~150 | 50~200 | ＊ | 50~150 | 50~200 |
| B | ＊ | 334 | 459 | ＊ | 345 | 465 | |
| C | ＊ | 96 | ＊ | 101 | |||
| D | ＊ | 152 | ＊ | 165 | |||
| φE | ＊ | 38 | ＊ | 48 | |||
| φF(g6) | ＊ | 12 | ＊ | 16 | |||
| G | ＊ | 20 | ＊ | 35 | |||
| H | ＊ | 7.0 | ＊ | 12.5 | |||
| φI(h7) | ＊ | 8 | ＊ | 14 | |||
| 製品図面 ダウンロード |
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| 型式 | ILD-152A | ILD-203A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | 100 | 150 | 200 | 100 | 150 | 200 | |
| ストローク(mm) | 100 | ＊150 | ＊200 | 100 | ＊150 | ＊200 | |
| 接続フランジ | CF152 | CF203 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | 50~150 | ＊ | ＊ | 50~150 | ＊ | ＊ |
| B | 330 | ＊ | ＊ | 330 | ＊ | ＊ | |
| C | 107 | ＊ | ＊ | 107 | ＊ | ＊ | |
| D | 170 | ＊ | ＊ | 170 | ＊ | ＊ | |
| φE | 60 | ＊ | ＊ | 60 | ＊ | ＊ | |
| φF(g6) | 24 | ＊ | ＊ | 24 | ＊ | ＊ | |
| G | 35 | ＊ | ＊ | 35 | ＊ | ＊ | |
| H | 20.0 | ＊ | ＊ | 20.0 | ＊ | ＊ | |
| φI(h7) | 22 | ＊ | ＊ | 22 | ＊ | ＊ | |
| 製品図面 ダウンロード |
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＊自動タイプ（ILD-70A,114A）ストローク 50mm及び（ILD-152A,203A）ストローク 150mm,200mmについては、個別設計対応となります。B長については、別途お問い合わせ下さい。
<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましては製品カタログでもご紹介させていただいております。
製品に関しての納期、価格、その他ご質問のお問い合わせはこちらまでお願い致します。
