真空機器の入江工研株式会社直線導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
型式について・・・型式末尾には必要なストロークを記入してください。
（例）ILD40Aの50mmストローク ： ILD40A-05
| 型式 | ILD40A | ILD65A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | -05 | -10 | -15 | -05 | -10 | -15 | |
| ストローク(mm) | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| 接続フランジ | CF70 | CF114 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | 152 | 160 | ||||
| B | 38 | 48 | |||||
| C | 8 | 14 | |||||
| E | 12 | 16 | |||||
| F | 7 | 12.5 | |||||
| G | 20 | 35 | |||||
| H | 95 | 100 | |||||
| L | 235 | 330 | 455 | 221 | 345 | 465 | |
| 製品図面 ダウンロード |
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| dxf | dxf | dxf | dxf | dxf | dxf | ||
| 型式 | ILD100A | ILD150A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式末尾 | -10 | -15 | -20 | -10 | -15 | -20 | |
| ストローク(mm) | 100 | 150 | 200 | 100 | 150 | 200 | |
| 接続フランジ | CF152 | CF203 | |||||
| 駆動方法 | モーター駆動 | ||||||
| リークレート | 1×10-10Pa・m3／s以下 | ||||||
| ベーキング温度 | - | ||||||
| 使用主材料 | SUS304 | ||||||
| ベローズ材質 | SUS316L | ||||||
| 主要寸法 | A | 170 | 170 | ||||
| B | 60.5 | 60.5 | |||||
| C | 22 | 22 | |||||
| E | 24 | 24 | |||||
| F | 20 | 20 | |||||
| G | 35 | 35 | |||||
| H | 105 | 105 | |||||
| L | 330 | 445 | 565 | 330 | 445 | 565 | |
| 製品図面 ダウンロード |
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<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましてはカタログでもご紹介させていただいております。
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