型式 | ILC-34-10 | ILC-34-15 | ILC-34-20 | |
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ストローク | 10mm | 15mm | 20mm | |
接続フランジ | CF34 | |||
駆動方法 | 手動 | |||
リーク量 | 1×10-10Pa・m3/s以下 | |||
ベーキング温度 | 250℃ | |||
使用主材料 | SUS304 | |||
ベローズ材質 | SUS316L | |||
主要寸法 | A | 50~60 | 50~65 | 50~70 |
B | 106~96 | 127~112 | 152~132 | |
C | 156 | 177 | 202 | |
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