真空用フレキの入江工研株式会社フレキシブルチューブ、ベローズ、真空配管
真空用機器の配管接続に便利で、かつ柔軟な耐腐食性の４種類のフレキシブルチューブをラインナップしております。
＜型式の指定方法＞
フレキシブルチューブ規格品は、形状毎の型式に加え、チューブ長さをご指定下さい。
（型式例）NWフランジ付25A 長さ500Lの場合 ： VF1025-500L
※納期・価格はお見積り請求フォームでお問い合わせ下さい。
| 圧力条件 | （内部）真空 （外部）大気圧 |
|---|---|
| 温度条件 | 20℃（ベーキング時max250℃） |
| 長さ | 500,1000,1500,2000mm |
| チューブ材質 | 10～16:SUS304 25～100:SUS316L |
| フランジ材質 | 10～16:SUS304 25～100:SUS316 |
| リークテスト | Heガスリーク1×10-7 Pa・m3/s 以下 |
| 型式 | （Ｂｉ） | （Ｂｏ） | Ｄ | Ａ | 製品図面 ダウンロード |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| VF 1010 | 10.5 | 15 | 30 | 12.2 | dxf | |
| VF 1016 | 13 | 18.5 | 30 | 17.2 | dxf | |
| VF 1025 | 25.5 | 34 | 40 | 26.2 | dxf | |
| VF 1040 | 38 | 50 | 55 | 41.2 | dxf | |
| VF 1050 | 52 | 67.5 | 75 | 52.2 | dxf | |
| VF 1063 | 66.5 | 85.5 | 87 | 70.2 | dxf | |
| VF 1080 | 78 | 101 | 114 | 83.2 | dxf | |
| VF 1100 | 103 | 126.5 | 134 | 102.2 | dxf | |
（単位：mm）
※図面は右クリックしてファイルを保存してください。
フレキシブルチューブの両端に、コンフラットフランジの固定と回転を使用しています。
| 圧力条件 | （内部）真空 （外部）大気圧 |
|---|---|
| 温度条件 | 20℃（ベーキング時max250℃） |
| 長さ | 500,1000,1500,2000mm |
| チューブ材質 | SUS316L |
| フランジ材質 | SUS304L |
| リークテスト | Heガスリーク1×10-9 Pa・m3/s 以下 |
| 型式 | （Ｂｉ） | （Ｂｏ） | ｄ | Ｄ | ＰＣＤ | Ａ | 製品図面 ダウンロード |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VF 2034 | 25.5 | 34 | 18 | 33.8 | 27 | 50 | dxf | |
| VF 2070 | 38 | 50 | 38 | 69.3 | 58.7 | 50 | dxf | |
| VF 2114 | 66.5 | 85.5 | 63.5 | 113.5 | 92.2 | 75 | dxf | |
| VF 2152 | 103 | 126.5 | 101.6 | 151.6 | 130.3 | 80 | dxf | |
（単位：mm）
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フレキシブルチューブの両端に、JIS B2290（真空フランジ） VF(固定)とVG(回転)を使用しています。
| 圧力条件 | （内部）真空 （外部）大気圧 |
|---|---|
| 温度条件 | 20℃（ベーキング時max250℃） |
| 長さ | 500,1000,1500,2000mm |
| チューブ材質 | SUS316L |
| フランジ材質 | SUS304 |
| リークテスト | Heガスリーク1×10-7 Pa・m3/s 以下 |
| 型式 | （Ｂｉ） | （Ｂｏ） | ｄ | Ｄ | ＰＣＤ | Ａ | 製品図面 ダウンロード |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VF 3025 | 25.5 | 34 | 34 | 90 | 70 | 50 | dxf | |
| VF 3040 | 38 | 50 | 48.6 | 105 | 85 | 50 | dxf | |
| VF 3050 | 52 | 67.5 | 60.5 | 120 | 100 | 50 | dxf | |
| VF 3065 | 66.5 | 85.5 | 76.3 | 145 | 120 | 50 | dxf | |
| VF 3080 | 78 | 101 | 89.1 | 160 | 135 | 50 | dxf | |
| VF 3100 | 103 | 126.5 | 114.3 | 185 | 160 | 50 | dxf | |
（単位：mm）
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| 圧力条件 | （内部）真空 （外部）大気圧 |
|---|---|
| 温度条件 | 20℃（ベーキング時max250℃） |
| 長さ | 250,500,800,1000mm |
| チューブ材質 | SUS304 |
| フランジ材質 | SUS316 |
| リークテスト | Heガスリーク1×10-7 Pa・m3/s 以下 |
| 型式 | （Ｂｉ） | （Ｂｏ） | ｄ | Ｔ | Ａ | 製品図面 ダウンロード |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VF 4006 | 10.5 | 15 | 6.35 | 1 | 30 | dxf | |
| VF 4009 | 10.5 | 15 | 9.52 | 1 | 30 | dxf | |
| VF 4012 | 13 | 19 | 12.7 | 1.24 | 30 | dxf | |
（単位：mm）
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