진공밸브Vacuum valve제품카탈로그

진공밸브란?What is the vacuum valve ?

진공밸브란, 진공과 진공, 진공과 대기를 격리하기 위해 사용하는 것입니다. 디스플레이나 반도체 기판을 제작할 때에 각종 공정을 격리하기 위해서 사용하는 것 이외에도, 진공챔버와 진공펌프 사이에 배치하여 진공챔버의 압력을 조정하기 위해서도 사용합니다.

진공밸브에는 열, 가스, 플라즈마 등이 부가된 진공을 격리하는 것 이외에도, 진공을 파괴하지 않고 대기와 격리하는 밀봉성이 요구됩니다.

사각형 게이트밸브Rectangular type gate valve

기판이 통과하기 위한 사각형 개구를 지닌 케이스(밸브케이싱)와, 개구를 막기 위한 칸막이판(밸브판), 및 밸브판을 동작시키는 기구(구동부)로 구성됩니다.

처리실에 투입된 기판은 게이트밸브를 닫음으로써, 밀폐된 환경으로 유지되며, 여기서 각종 막을 형성하기 위한 열, 가스, 플라즈마 등에 노출됩니다. 이들 공정은 주로 진공하에서 실시되며, 이러한 환경을 유지하기 위해서는 게이트밸브에 높은 밀봉성이 요구됩니다. 당사의 제품 중에서는 KOSLARZE(코스라즈)가 해당됩니다.

특징

밸브판을 개구위치까지 이동시킨 후에, 밸브판을 개구시트부에 가압합니다. 밸브판에는 탄성재(O링)이 삽입되어 있으며, 그 반발력으로 밀봉성을 확보합니다. 개구위치까지의 직선이동과 밀봉시키기 위한 경사동작은 벨로우즈를 통해서 에어실린더로 실시합니다.

가동부는 벨로우즈로 격리되어 있으며, 진공실측에는 금속 슬라이딩부가 없습니다. 구동부의 종류는 일방향 실린더만으로 직선이동동작과 경사동작을 연속으로 실시하는 것(코스라즈Ⅱ) 및, 직선이동동작과 경사동작을 각각의 실린더로 실시하는 것(NEW 코스라즈)이 있습니다. 주로 고속성(KOSLARZEⅡ), 강한 밀봉성(NEW KOSLARZE)으로 분류됩니다

사용방법

밸브케이싱을 전후의 챔버에 끼워넣은 형태로 장착합니다. 게이트밸브로서 표준이 되는 형상입니다. 이와는 별도로 챔버 개구부를 밸브판으로 직접 밀봉시키는 타입도 있습니다(직접장착). 이 경우 구성부품에 밸브케이싱은 존재하지 않습니다. 밸브판은 볼트 하나로 탈착할 수 있으며, 메인터넌스가 용이합니다.

원형 게이트밸브Round type gate valve

안정된 밀봉성능을 지니며, 심플한 구조, 컴팩트한 디자인의 원형 진자식 밸브입니다. 주로 처리실(챔버)과 진공 펌프 사이에 설치되며, 배기계의 칸막이로서 사용합니다. 챔버 압력을 조정하기 위해 밸브의 개도를 임의의 위치에서 정지시키는 기능을 갖춘 것도 있습니다(컨덕턴스밸브).

KOSLARZE와 마찬가지로 밸브케이싱과 밸브판 및 구동부로 구성됩니다. 개구 형상은 진공 펌프에 접속하기 위해 원형으로 되어 있습니다. 당사의 제품 중에서는 MARINA(마리나)가 해당됩니다.

특징

밸브판을 개구위치까지 이동시킨 후 밸브판을 개구시트부에 가압합니다. 밸브판에는 탄성재(O링)가 삽입되어 있으며, 그 반발력으로 밀봉성을 확보합니다. 개구위치까지의 회전동작(추시계의 추와 같은 동작)과 밀봉동작은, O링을 통해서 각각의 에어실린더로 실시합니다.

밸브판 내부에 탑재된 에어 실린더에 의해 개구부와 매우 가까운 위치에서 밀봉동작을 실시함으로써, 안정된 밀봉성이 확보됩니다. 또 대기와 진공을 격리하는 높은 밀봉성이 요구되는 경우는, 밸브판 내부에 차압 캔슬용 벨로우즈를 탑재함으로써, 밸브판에 작용하는 압력차를 큰폭으로 저감하는 것이 가능합니다.

사용방법

챔버와 진공 펌프 사이에 장착합니다. 컨덕턴스밸브의 경우는 고객께서 중간 정지위치를 조정해주세요.

대형 게이트밸브(사각형)Large-size rectangular type gate valve

특히 초대형 기판에 대응한 큰 개구의 게이트밸브입니다. 당사의 제품 중에서는 차압 캔슬 기구를 채용한 GARIVA(가리바)가 해당됩니다. 개구 사이즈 3000mm이상의 대형 밸브를 납입한 실적을 갖고 있으며, 밀봉동작이 안정되고 신뢰성이 높은 밸브입니다.

특징

높은 밀봉성을 확보하기 위해서는, 큰 개구에서도 밸브판 밀봉재를 균일하게 압축시킬 필요가 있습니다. 이것을 실현하기 위해서는 KOSLARZE의 유닛수를 증가시킴으로써 밸브판을 여러 지점에서 가압하는 방법과, 밸브판 내부에 에어실린더를 탑재함으로써 개구부와 매우 가까운 위치에서 실을 가압하는 타입으로 대응하고 있습니다(GARIVA).

GARIVA에 대해서는 MARINA와 마찬가지로 밸브판 내부에 차압 캔슬용 벨로우즈를 탑재함으로써, 밸브판에 작용하는 압력차를 큰폭으로 저감하는 것이 가능합니다. KOSLARZE에서는 대기측으로 노출되는 구동부가 대형화 되지만, GARIVA라면 구동부의 저강성화, 경량화를 꾀할 수 있습니다.

사용방법

코스라즈와 마찬가지로 밸브케이싱을 전후의 챔버에 끼워넣는 형태로 장착합니다. GARIVA의 경우, 챔버 개구부를 밸브판으로 직접 밀봉시키는 타입(직접장착)은 대응하고 있지 않습니다.

L형밸브(앵글밸브)L-shape valve

L형밸브(앵글밸브)는 풍부한 실적을 갖고 있으며, 성형, 용접 벨로우즈를 내장한 긴 수명의 진공밸브입니다. 주로 챔버와 러핑 펌프(roughing pump)사이에 설치되며, 배기계의 칸막이로서 사용합니다.

특징

메이커로서의 풍부한 실적을 갖고 있으며, 성형, 용접벨로우즈를 탑재한 긴 수명의 고진공밸브입니다. 통상 제품이외에 파티클 감김 방지에 효과를 기대할 수 있는 저속 배기밸브도 준비하였습니다(25A/40A/50A).

사용방법

챔버와 러핑 펌프 사이에 장착합니다. 장착 방향은 자유지만, 특별한 지정이 없는 경우는 압력 변동이 큰 쪽으로 밸브판이 향하는 자세로 장착하세요.

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