高真空L型バルブ（アングルバルブ：成形ベローズ軸シール：16A〜65A)

型式表示方法／ORDERING NUMBER DESCRIPTION

※1：手動型は5万回
※2：LXシリーズに手動型は含みません。
*1: 50,000 repetitions for manual type.
*2: LX Series does not include a manual type.
記号
Symbol		 寿命回数
Repetition life
無記入
No entry		 10万回※1
100,000 repetitions (*1)
LX 100万回※2
1 million repetitions (*2)
L型バルブの記号
Lshape valve symbol
記号
Symbol		 型式
type
D 自動型、複動型
Automatic,double-action
C 自動型、単動（ノーマルクローズ）
Automatic, single-acting
(normally closed)
O 自動型、単動（ノーマルオープン）
Automatic, single-acting
(normally open)
M 手動型
Manual
型式表示方法
記号
Symbol		 フランジ種類
Flange types
1 NW-KFフランジ
NW-KF flange
2 コンフラットフランジ※
con flat flange
3 JIS(VG,VF)フランジ
JIS(VG,VF) flange
※片側固定、片側回転
* One-side stationary,one-side rotating
サイズ
Size		 適合フランジ
Fit flange
16 ●NW-KFフランジ
●NW-KF flange
●JIS(VG,VF)フランジ
●JIS(VG,VF) flange
25
40
50
60(63)
70 コンフラットフランジ
con-flat flange
114
記号
Symbol		 付属品
accessories
0 付属品なし
Without accessories
1 電磁弁、近接スイッチ付き
With solenoid valves,proximity switch
2 電磁弁付き
With solenoid valves
3 近接スイッチ付き
With proximity switch

注1)　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。
Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.

見積りフォーム/Order form

寿命回数
フランジ種類
バルブサイズ
型式
付属品
台数
台
会社名[必須]：
所属：
お名前[必須]：
住所：
〒
 
メールアドレス[必須]：
電話番号[必須]：
FAX番号：
希望連絡手段：
メール 電話 FAX 郵送
（注：郵送の場合　ご連絡までにお時間がかかる可能性があります。）

仕様／Specifications

使用圧力
Working pressure		 大気圧 〜 1×10-6 Pa Atmospheric temperature to 1 x 10(-6) Pa
リーク量
Leak volume		 ＜1×10-10 Pa･m3/sec Below 1 x 10(-10) Pa・m3/sec
寿命回数
Repetition life		 □FLV(自動)　10万回
□FLV(手動) 5万回
LX-□FLV(自動)100万回		 FLV (automatic) 100,000 repetitions
FLV (manual) 50,000 repetitions
LX- FLV (automatic) 1 million repetitions
操作圧力
Operating pressure		 0.5〜0.6MPa（自動) 0.5 to 0.6 MPa (automatic)
ベークアウト温度
（耐熱温度）
Bake-out temperature
(heat endurance limit)		 バルブボディ　120℃（MAX）
ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX）
電磁弁付きの場合　50℃（MAX)		 Valve body 120℃（MAX）
Pneumatic actuator 65℃（MAX）
In the case of those with solenoid valve50℃（MAX）
主要構成材料
Main materials		 バルブボディ：SUS304
ベローズ：SUS316L(□FLV)
ハステロイ C-22(LX-□FLV)
シリンダ：アルミニウム
弁座シール：バイトン
ボンネットシール：バイトン		 Valve body:SUS304
Bellows:SUS316L(□FLV)
Hastelloy C-22(LX-□FLV)
Cylinder: Aluminum
Valve seat seal: Viton
Bonnet seal: Viton

主要部の名称／Name of main parts

技術データ／Technical data

コンダクタンス
conductance		 型式
type		 16A 25A 40A 50A (63A)
65A
□FLV 4l/sec 10l/sec 32l/sec 70l/sec 107l/sec
LX-□FLV 3l/sec 9l/sec 27l/sec 52l/sec 93l/sec

自動(複動･単動[ノーマルオープン･クローズ])

■WITH NW-KF FLANGES
1FLV SERIES・LX-1FLV SERIES		 ■WITH CF FLANGES
2FLV SERIES・LX-2FLV SERIES		 ■WITH JIS FLANGES
3FLV SERIES・LX-3FLV SERIES
1FLVの画像 2FLVの画像 3FLVの画像

外観図/Schematic diagram

1FLVの外観図 2FLVの外観図 3FLVの外観図

寸法表(自動型：複動D,単動C[ノーマルクローズ],単動O[ノーマルオープン])

Model No. A B C D E F φH φJ K N-φh weight
(kg)		 図面
DXF PDF
(LX)1FLV -16D.C.O 132.5 93 47 50 22.5 40 40 30 - - 0.7 dxf pdf
" -25D.C.O 141.5 101.5 59 62 24.5 50 54 40 - - 1.1 dxf pdf
" -40D.C.O 168 117.5 81 84.5 33 65 76 55 - - 2.1 dxf pdf
" -50D.C.O 186.5 128.5 92 92 39 70 89 75 - - 3.3 dxf pdf
" -63D.C.O 229 163.5 110 110 45.5 88 110 87 - - 8.4 dxf pdf
(LX)2FLV -70D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 70 58.7 6-6.8 2.5 dxf pdf
" -114D.C.O 201.5 143.5 92 92 39 85 89 114 92.2 8-8.5 5.2 dxf pdf
(LX)3FLV- -25D.C.O 151.5 111.5 59 62 24.5 60 54 90 70 4-10 1.8 dxf pdf
" -40D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 105 85 4-10 3.2 dxf pdf
" -50D.C.O 199.5 141.5 92 92 39 83 89 120 100 4-10 4.5 dxf pdf
" -63D.C.O 241 175.5 110 110 45.5 100 110 145 120 4-12 9.8 dxf pdf

手動（手動型：M／Manual: M）

■WITH NW-KF FLANGES
1FLV SERIES		 ■WITH CF FLANGES
2FLV SERIES		 ■WITH JIS FLANGES
3FLV SERIES
1FLVMの画像 2FLVMの画像 3FLVMの画像

外観図/Schematic diagram

1FLVMの外観図 2FLVMの外観図 3FLVMの外観図

寸法表（手動型：M／Manual: M）

Model No. A B φH φD E F φJ K N-φh weight
(kg)		 図面
DXF PDF
1FLV -16M 124.5 47 40 43 6 40 30 - - 0.6 dxf pdf
" -25M 136 59 54 43 8 50 40 - - 1.0 dxf pdf
" -40M 163 81 76 60 15 65 55 - - 1.6 dxf pdf
" -50M 176.5 92 89 60 20 70 75 - - 2.5 dxf pdf
" -63M 204.5 110 110 60 25 88 87 - - 6.6 dxf pdf
2FLV -70M 168 81 76 60 15 70 70 58.7 6-6.8 2.1 dxf pdf
" -114M 191.5 92 89 60 20 85 114 92.2 8-8.5 4.4 dxf pdf
3FLV -25M 146 59 54 43 8 60 90 70 4-10 1.6 dxf pdf
" -40M 168 81 76 60 15 70 105 85 4-10 2.7 dxf pdf
" -50M 189.5 92 89 60 20 83 120 100 4-10 3.8 dxf pdf
" -63M 216.5 110 110 60 25 100 145 120 4-12 8.0 dxf pdf

Products guidance

金属ベローズ 金属ベローズ
Metal bellows
溶接ベローズ
成形ベローズ
フレキシブルチューブ
真空バルブ 真空バルブ
Vaccum valves
角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大型ゲートバルブ(角型)
L型バルブ(アングルバルブ)
真空配管 真空配管部品
Vacuum line parts
クランプ
フランジ付きパイプ
パイプパーツ
フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
真空チャンバー 真空チャンバー
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