08 | 8インチ用 For8" |
12 | 12インチ用 For12" |
VC | 弁箱付 With valve casing |
DM | ダイレクトマウント Direct mount |
オプション品の番号 Optional product number |
オプション内容 Description |
00 | 標準品:弁板・弁箱材質/アルミ Standard products:Aluminum seal plate and casing |
01 | オプション品:弁板弁箱材質/SUS Optional products:Stainless steel seal plate and casing |
開口サイズ Gate size |
8":46×236 12":50×336 |
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使用圧力 Working pressure |
大気圧 〜 1×10-6 Pa Atmospheric pressure to 1 x 10(-6) Pa |
Heリーク量 He leak rate |
本体 1×10-10 Pa・m3/s以下 シール板 5×10-10 Pa・m3/s以下(保証時間 min.60sec) Gate valve Max.1×10-10 Pa・m3/s seal plate Max.5×10-10 Pa・m3/s(min.60sec guaranteed) |
対応差圧力 Differential pressure |
正圧及び逆圧 Positive and negative pressures |
開閉動作時の差圧 Differential pressure when open |
1000pa以下 Max.1000pa |
OHサイクル OH cycles |
100万回(推奨OHサイクル 但しシール材除外) 1million cycles (according to our verification test; however,this does not apply to seals) |
ベーキング温度 Bake-out temperature |
MAX.120℃(エアシリンダー部はMAX.60℃) Max.120℃(max.60℃ for air cylinders) |
バルブ開閉時間 Valve open/close time |
開閉各0.9sec以上 Min.0.9 sec each |
使用空気圧力 Pneumatic pressure |
0.5±0.5Mpa 0.5±0.5Mpa |
取付方向 Mounting posture |
駆動部が「天」または「地」 Drive section is turned to the top or bottom |
主要材料 Materials |
弁箱・弁板:アルミ(標準)またはSUS304 溶接ベローズ:AM350相当 Oリング:FKM(バイトン®) valve casing and seal plate:Aluminum(standard)or SUS304 Welded bellows:AM350相当 O-ring:FKM(Viton®) |
開閉検知 Opening/closing detection |
無接点スイッチ Read switch |
スピードコントローラ接続チューブ径 Speed controller connection tube diameter |
[8"]φ2本 [12"]φ6 2本 [8"]2 φ4tube [12"]2 φ6tube |
サイズ/Size | A | B | C | D1 | D2 | E | F | G | h | I | J | K | L | M | N | P1 | P2 |
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8"(46×236) | 340 | 262 | 322 | 236 | 46 | 112 | φ4 | 450.5 | 57 | 393.5 | 103 | 300 | 285 | 50 | 310 | 251 | 61 |
12"(50×336) | 440 | 362 | 422 | 336 | 50 | 142 | φ6 | 515.5 | 61.5 | 454 | 112 | 400 | 385 | 60 | 410 | 351 | 65 |
サイズ/Size | A1 | A2 | A3 | B1 | B2 | C1 | C2 | D1 | D2 | E | F | M | I | J | L1 | L2 | K1 | K2 | K3 |
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8"(46×236) | 256 | 236 | 66 | 286 | 36 | 322 | 49 | 276 | 26 | 112 | φ4 | 37.5 | 393.5 | 103 | 301 | 31 | - | - | - |
12"(50×336) | 356 | 336 | 70 | 386 | 46 | 422 | 59 | 376 | 36 | 142 | φ6 | 47.5 | 454 | 112 | 401 | 41 | 182 | 212 | 25.5 |