日本真空工業会表彰『会長賞』受賞

（一社）日本真空工業会表彰『会長賞』受賞

2004年5月13日日本真空工業会（略称JVIA）より、
当社開発の「差圧キャンセル弁の開発・製品化」のテーマにより、第4回平成15年度日本真空工業会表彰『会長賞』を受賞しました。
同賞は、技術賞部門の中でも特に産業振興や真空産業の発展に貢献した技術や製品の開発者に贈られるものです。

『会長賞』

■ 受賞者
技術グループ長　中川雅晴 / 主任　矢部学 / 斉藤達雄

■ 受賞テーマ
「差圧キャンセル弁の開発・製品化」

【今回の受賞理由について】
「液晶ディスプレイの大型化に伴い、基盤サイズが上限ないように拡大している中で、各機器メーカーはその対応に大変な苦労を強いられている。本賞はその中の一つであるチャンバー間のゲートバルブである。従来よりゲートバルブは差圧に耐え、安価で信頼性が高い製品を求められていた。本賞の差圧キャンセル型のバルブは、これらの要求を実現して業界トップの納入実績を誇っている。その新規性と実績に対して、日本真空工業会会長賞を贈る」（JVIA審査委員長コメントからの抜粋）